- 保护视力色：
现代精密量仪现状和发展趋势（下）
-
http://www.chinairn.com 发稿日期:2007-9-28
- 【搜索关键词】：研究报告 投资分析 市场调研 仪器
- 中研网讯：
-
随着激光测量技术的发展，纳米分辨率激光干涉测量系统在超精测量和超精加工机床上得到广泛应用。
2008-2009年中国IC卡行业研究咨询报告 近几年，中国IC卡行业步入产业分工合作、规模应用起步、产品由低端向高端延伸发展的新阶段，产品2008-2012年中国机械停车设备市场调查与发展前景 随着我国城市尤其是大城市建设的快速发展，大量现代化高层建筑和住宅小区的出现使城市土地越发金贵2009-2010年中国激光加工设备市场调查与发展前景 我国激光加工产业规模从1990年的1200万元，发展到2007年末的30亿元，十几年间增长了2009-2010年中国电机产业市场调查与发展前景分析 【出版日期】 2008年12月 【报告页码】 350页 【图表数量】 150(1)英国Renishaw公司展出的金牌M10激光干涉测量系统，配备了灵敏度和精度更高的温度、气压、湿度传感器和金牌EC10环境补偿装置，提高了测量精度，其稳频精度可达±0.05ppm,线性测量精度±0.7ppm，分辨率可达1纳米，是激光测量技术发展的典型代表。
(2)德国SIOS的小型激光干涉仪系列产品，有微型平面干涉仪、激光干涉测头等，可以和用户多种测量系统结合，据称特别适用于完成各种小尺寸范围的纳米测量任务。
(3)光动（OPTODYNE）公司开发的激光向量测量技术，是一种采用对角线方向测量数控机床空间位置精度的新方法，能提高在机检测数控机床的精度和检测速度（见图16）。API的六维激光测量系统，一次安装调试后，可同时测量数控机床的6项精度，为生产现场数控机床的检测提供了另一种快速准确的检测与诊断手段。
2.6微、纳米级高精度传感器
传感器向小型化、微、纳米级精度发展，生产现场适应性更强，精度更高。
(1)北京标普及HEIDENHAIN的纳米光栅技术和纳米光栅数字式位移传感器系列产品，将光栅传感器的精度和分辨率提高了一个等级。标普的光栅纳米传感技术，解决了纳米光栅的工作原理、纳米光栅的制造技术、纳米光栅信号的读取技术和信号细分技术以及纳米机械的制造等四大难题，取得了自主知识产权，并已经转化为生产力，其测量系统的精度在100毫米上小于±20纳米。产品除在国内市场销售外，还远销国外。北京珍宝智能机器技术公司的智能化电感频变式比较仪的示值变动性不大于0.003微米，示值误差不大于±（0.003+0.005A）微米（式中A为示值），已为国内多家块规制造厂所采用。
(2)三坐标机测头向高精度、小型化的发展：RENISHAW的SP80超高精度数字式扫描测头，分辨率为0.02微米；ZEISS的VAST三维6向扫描测头系统，采用平行簧片机构，分辨率为0.05微米，扫描范围达2毫米。Werth的光纤测头，半径仅为12.5微米，号称世界最小，适用于超细、超精密工件的测量。
2.7测量软件功能的增强和扩展
(1)测量软件已从“被动”的测量数据处理和单个产品质量评定，发展为“主动”的生产过程加工质量的监控和故障诊断，SPC得到普遍应用；测量仪器精度补偿软件和加工机床参数反馈调整软件的开发，为实现“零废品”制造提供了技术支撑；
(2)相同或不同类型多传感器海量测量数据的集成融合技术，大大提高了反求工程的制造质量并缩短了开发周期：华中科技大学的复杂形状零件的测量、集成建模和面向制造的设计软件的开发成功大大扩展了软件的功能；
(3)对虚拟测量技术和虚拟仪器（虚拟量仪）的研究不断深入，NI产品不断更新：如重庆大学开发的傻瓜型虚拟仪器适合中国国情，推出的网络化虚拟仪器前景诱人。
- ■ 与【现代精密量仪现状和发展趋势（下）】相关新闻
- ■ 行业经济
- ■ 经济指标
-
