佳能纳米印刷技术获内存大厂力挺 产业链公司受关注 光刻机行业市场调研与发展机会

• 李波 2024年3月6日 来源：中研普华集团、央视财经、中研网 396 19
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据证券时报报道，美光公司计划率先支持佳能的纳米印刷技术，从而进一步降低生产DRAM存储芯片的单层成本。美光在近日演讲中表示，由于光学系统本身性质，DRAM层的图案很难用光学光刻技术进行印刷，而纳米打印方式可以用更精细的方式打印出来，且鉴于纳米印刷技术应用成本

据证券时报报道，美光公司计划率先支持佳能的纳米印刷技术，从而进一步降低生产DRAM存储芯片的单层成本。美光在近日演讲中表示，由于光学系统本身性质，DRAM层的图案很难用光学光刻技术进行印刷，而纳米打印方式可以用更精细的方式打印出来，且鉴于纳米印刷技术应用成本是沉浸式光刻技术的五分之一，因此是非常不错的解决方案。

佳能于2023年10月公布FPA-1200NZ2C纳米压印光刻(NIL)半导体设备，预计最快将于今年出货，将为芯片生产开辟了一条新的途径。此前，内存大厂SK海力士也引入了佳能纳米压印机，用于进行3D NAND的生产测试。

证券时报指出，纳米压印是一种微纳加工技术，它采用传统机械模具微复型原理，能够代替传统且复杂的光学光刻技术。相较于目前已商用化的EUV光刻技术，纳米压印技术可大幅减少耗能，并降低设备成本。

另外，纳米压印设备还可以使得芯片制造商降低对于ASML的EUV光刻机的依赖，使得台积电、三星等晶圆代工厂可以有第二个路线选择，可以更灵活地为客户生产小批量芯片。

分析师认为，纳米压印技术在特定领域有替代传统光学光刻的可能，随着下游应用领域扩大以及该技术渗透率提升，该市场有望持续成长。

公司方面，据证券时报表示，苏大维格：公司自研纳米压印光刻设备并批量复制的微纳光学全链条技术能力，对市场需求、技术迭代等反应迅速，可为客户提供从初始设计到产成品的定制化技术服务。

利和兴：公司全自动纳米压印生产线技术运用自动控制相关技术，结合纳米压印的纳米模压技术与固化技术，可把纳米压印行业内的单机手工作业方式改变为全工序自动化方式。

光刻机不仅应用于芯片制造，还将扩展到更广泛的领域，如光学器件、微机电系统(MEMS)、光电子器件等。这将为光刻机行业提供更广阔的市场空间。随着全球环保意识的提高，未来的光刻机将更加注重环保技术的应用，减少环境污染，符合可持续发展的要求。

芯片制造工艺的不断进步，光刻机需要不断提高其分辨率和精度，以满足更精细的芯片制造需求。这可能涉及到更高级的光源技术、更精密的镜头系统以及更智能的控制算法等。

随着全球半导体市场的持续增长，光刻机需要提高生产效率以满足市场需求。这可能涉及到更高效的制造工艺、更优化的生产流程以及更智能的生产管理系统等。

根据中研普华研究院撰写的《2024-2029年光刻机行业市场深度分析及发展规划咨询综合研究报告》显示：

光刻机行业市场调研与发展机会

光刻机是制造芯片的核心设备之一，也是平板显示曝光器的重要组成部分。随着全球电子产业的快速发展，光刻机行业也呈现出蓬勃的发展态势。

光刻机行业是一个技术密集型行业，技术创新是推动行业发展的关键。随着光刻技术的不断升级，光刻机行业也在逐步实现从接触式到非接触式、从可见光到紫外光、从单波长到多波长的转变，进一步提高了光刻的精度和效率。

随着5G、人工智能、物联网等技术的快速发展，芯片和平板显示器的需求不断增长，进一步推动了光刻机行业的发展。特别是在智能手机、平板电脑、电视等消费电子领域，对于高精度、高效率的光刻机需求尤为迫切。

目前，全球光刻机市场主要由少数几家企业主导，如ASML、Nikon、Canon等。这些企业凭借领先的技术和市场份额，在光刻机行业中处于领先地位。

综上所述，光刻机行业在市场需求、技术创新、竞争格局和产业链协同发展等方面都呈现出蓬勃的发展态势。未来，随着技术的不断进步和市场的不断拓展，光刻机行业将迎来更加广阔的发展空间和机遇。

Hyper NA EUV光刻机有望2030年商用

资料显示，ASML标准数值孔径的EUV光刻机(NXE系列)目前售价约为1.83亿美元，而High NA EUV光刻机(EXE:5000)的售价约为3.8亿美元，增长了一倍多，如果Hyper NA EUV光刻机成本也将继续增长一倍，一台价格就将超过7.6亿美元，这样的价格即便是台积电、三星、英特尔这样的巨头恐怕也难以承受。

ASML目前的EUV工具的数值孔径(NA)为0.33，可实现13.5nm左右的分辨率，透过单次曝光，可以产生26nm的最小金属间距和25-30nm尖端到尖端的近似互连空间间距，这些尺寸足以满足4/5nm节点制程的生产需求。

随着制程工艺的继续推进，当进入1nm制程工艺节点之后，晶体管的金属间距将需要变得更小，届时晶圆制造商将需要比High NA EUV光刻机更复杂的工具，这也是ASML为何计划开发出具有更高数值孔径Hyper NA EUV光刻机的原因。

根据此前imec的预计，凭借晶体管技术以及先进的制造工具的出现，2030年将进入7埃米(0.7nm)时代，2032年将有望进化到5埃米(0.5nm)，2036年将有望实现2埃米(0.2nm)。

光刻机行业市场发展机会

平安证券研究表示，光刻机是半导体产业的核心设备，直接决定芯片制程的先进程度，重要性不言而喻，在全球半导体产业持续扩张的趋势下，光刻机市场规模长期可观;

此外，光刻机开发难度大，产业垄断性强，是海外对华半导体制裁的重灾区，直接影响国内半导体产业先进制程的发展，因此光刻机自主突破的重要性尤为凸显，光刻机国产产业链颇具潜力。

受益于下游晶圆巨大需求、服务器云计算和5G基础建设的发展，相关芯片需求也在增加。作为芯片产业链上游的重要组成部分，光刻机行业将受益于这一增长趋势。

目前，光刻机市场主要由国外的几家企业主导，如ASML、Nikon、Canon等。然而，随着中国大陆代工厂的不断扩建，对于国产光刻机的需求将不断提升，这为国内光刻机企业提供了巨大的市场机会。

总的来说，光刻机行业市场发展机会丰富，但也需要在应对挑战的同时，抓住机遇，实现持续发展。

在激烈的市场竞争中，企业及投资者能否做出适时有效的市场决策是制胜的关键。中研网撰写的光刻机行业报告对中国光刻机行业的发展现状、竞争格局及市场供需形势进行了具体分析，并从行业的政策环境、经济环境、社会环境及技术环境等方面分析行业面临的机遇及挑战。

同时揭示了市场潜在需求与潜在机会，为战略投资者选择恰当的投资时机和公司领导层做战略规划提供准确的市场情报信息及科学的决策依据，同时对政府部门也具有极大的参考价值。

想了解关于更多光刻机行业专业分析，可点击查看中研普华研究院撰写的《2024-2029年光刻机行业市场深度分析及发展规划咨询综合研究报告》。同时本报告还包含大量的数据、深入分析、专业方法和价值洞察，可以帮助您更好地了解行业的趋势、风险和机遇。

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