国内光刻设备发展现状：光刻机国产化率仅2.5%

一、光刻设备行业简介

光刻设备是半导体制造中的核心设备，其技术门槛和资金门槛都非常高，被誉为集成电路产业皇冠上的明珠。光刻设备的主要功能是将设计好的集成电路图形通过光线的曝光印制到硅衬底的光感材料上，实现图形的转移。这一过程在芯片生产中需要重复多次，决定了半导体线路纳米级的加工精度，对功率以及光源的要求十分复杂，对光刻机的技术要求十分苛刻，对误差和稳定性的要求极高。因此，光刻机的分辨率、精度成为其性能的评价指数，直接影响到芯片的工艺精度以及芯片的功耗、性能水平。

二、光刻设备行业产业链分析

光刻设备的产业链包括上游的零件、组件和设备等，以及下游的应用如芯片制造、功率器件制造、芯片封装等。光刻机涉及的内部零件种类众多，且越高端的光刻机组成越复杂，其核心组件包括光源系统、双工作台、物镜系统、对准系统、曝光系统、浸没系统、光栅系统等。因此，光刻机企业往往具备高外采率、与供应商共同研发的特点。

三、中国光刻设备行业发展现状

光刻机国产化率仅2.5%，上海微电子为国产光刻机绝对龙头。截至2022年，光刻机国产化率仅2.5%，国内企业中，上海微电子是目前中国第一家也是唯一家光刻机巨头，出货量已占国内市场份额超过80%，产品主要涉及ArF、KrF和i-line领域，其已具备90nm及以下的芯片制造能力。此外，还有北京华卓精科、北京科益虹源等国内光刻机企业。

目前，国内需求大于国产供给，2022年产量为95台。近些年中国光刻机国产化进程加快，中国的光刻机产业取得一定发展，但与国际领先水平相比，仍存在一些技术限制，尤其是高端光刻机技术受制于国外供应商。导致中国光刻机制造商在面对技术挑战和供应链问题时，产能和产量受限制。2022年中国光刻机产量约为95台，而需求量约为652台。近年来，中国政府出台一系列政策支持半导体产业，包括资金支持、税收优惠等，促进国内半导体制造业发展。国内光刻机产业链携手共进，有望实现技术突围。整机方面，上海微电子推出SSX600系列光刻机，可用于8寸线或12寸线大规模工业生产。其余核心子系统组件的突出厂商在其细分领域均取得一定的技术突破。

图表：2021-2023年中国光刻设备行业市场规模

四、中国光刻设备重点厂商分析

1、上海微电子

国产光刻机巨头，四类产品线齐头并进。公司是国产光刻机巨头，致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的研发制造、销售及技术服务。产品包括光刻设备、集成电路制程设备、平板显示制程设备、光学量/检测设备四类。主要产品为半导体产业高端投影光刻机，应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、PowerDevices等制造领域。

SSX600系列光刻机可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。SSX600系列光刻机是目前公司产业线中较具代表性的先进产品型号，采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求，可用于8寸线或12寸线大规模工业生产。

2、炬光科技

深耕激光元器件，多种产品技术指标行业领先。公司主营业务为光子产业链上游高功率半导体激光元器件和原材料（“产生光子”）、激光光学元器件（“调控光子”）的研发生产和销售。目前正拓展光子产业链中游的光子应用模块、模组、子系统业务（“提供光子应用解决方案”），重点布局汽车应用、泛半导体制程、医疗健康三大应用方向。公司多种产品技术指标已达行业先进，应用于先进制造、医疗健康、科学研究、汽车应用、消费电子领域。

公司坚持技术导向，立足激光元器件、汽车应用、泛半导体领域。激光元器件领域，公司的光场匀化技术，能实现对激光光束高度匀化，应用于全球先进半导体制程设备。汽车应用领域，产品覆盖点、线、面不同类型的激光雷达发射光源模组及光学元器件、组件，应用于机械旋转式、混合固态、全固态等多种激光雷达技术路线。泛半导体领域，公司的线光斑及光学整形技术和相关产品获客户认可，将在大幅面、大批量生产中凸显高加工效率、生产良率。

《2024-2029年光刻机行业市场深度分析及发展规划咨询综合研究报告》由中研普华产业研究院撰写，本报告对该行业的供需状况、发展现状、行业发展变化等进行了分析，重点分析了行业的发展现状、如何面对行业的发展挑战、行业的发展建议、行业竞争力，以及行业的投资分析和趋势预测等等。报告还综合了行业的整体发展动态，对行业在产品方面提供了参考建议和具体解决办法。