一、溅射靶材行业简介
溅射靶材是指一种用溅射沉积或薄膜沉积技术制造薄膜的材料。溅射是制备薄膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料。溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
二、溅射靶材的分类
溅射靶材种类多样,下游应用广泛。从分类上来看,溅射靶材主要按形状、化学成分、应用领域这三个标准分类。形状分类中,主要分为长靶、方靶、圆靶。在化学成分分类中,主要分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材;在应用领域分类中,主要分为半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、工具改性靶材、电子器件靶材等。
三、溅射靶材行业产业链
溅射靶材产业链上游主要以原材料和生产设备为主,其中原材料包括金属、合金、陶瓷等原材料,金属原材料包括铜、铝、铬、镍、钽等,合金原材料包括镍铬合金、镍钴合金、镍铂合金、钨钛合金、铁钴合金等,陶瓷原材料包括ITO、二氧化硅、氧化硅、氧化锌、氧化钛等。设备包括提纯设备、喷涂设备和溅射机台;溅射靶材中游主要为靶材生产制造环节;溅射靶材下游应用于半导体、平板显示、光伏、信息存储、光学应用等领域。
四、中国溅射靶材行业发展现状
溅射靶材是一种用于制造薄膜材料的重要材料,对电子与信息产业有着重要的作用。我国溅射靶材行业起步晚,长期依赖进口,在国家相关政策支持下,溅射靶材快速发展,国产化速度加快。在20世纪80年代初,我国开始引入溅射镀膜技术,应用于相关玻璃制品中。20世纪90年代,我国开始研究溅射靶材的国产化技术。在21世纪初,我国溅射靶材产业进入快速发展阶段,行业内优秀企业增多。在2005年,第一块国产半导体工业应用溅射靶材在江丰电子的生产线上诞生,填补了国内溅射靶材工艺的空白。由于我国溅射靶材长期依赖进口,国家出台相应政策支持溅射靶材国产化。在2020年,我国工程院院士材料学专家何季麟带领团队成功研制出高性能ITO溅射靶材,实现了高端ITO靶材从0到1的突破。同年重庆大学刘庆教授团队研制超高纯金属靶材项目,让我国芯片拥有高端靶材。核心技术的突破加快我国溅射靶材行业发展,促进我国成为全球溅射靶材市场的重要力量。
随着溅射靶材和下游产业应用本土化程度的提高,中国在全球溅射靶材行业的地位日益突出,为国内溅射靶材行业带来了更加广阔的市场发展空间。其中,高性能溅射靶材市场更是呈现出强劲的增长势头,市场规模不断扩大,年均复合增长率显著。数据显示,2022年,我国溅射靶材行业市场规模为305.4亿元。
图表:2018-2022年中国溅射靶材行业市场规模

从市场份额来看,溅射靶材行业被几家跨国大型企业所垄断,如霍尼韦尔、东曹和普莱克斯等外国厂商。这些企业在技术、品牌和市场渠道等方面具有明显优势,占据了行业的主导地位。然而,随着国内政策的引导和各大企业逐步加大研发投入,国产化率也在不断提高,以江丰电子、阿石创等企业为首的国内厂商快速发展,市场份额逐渐提升。
五、溅射靶材行业发展潜力
随着科技的不断进步和应用领域的持续拓展,溅射靶材的需求将持续增长,市场规模有望进一步扩大。其次,行业竞争将更加激烈,国内外企业将加大研发投入,提升技术水平和产品品质,以在市场中占据更有利地位。此外,随着新能源、半导体等产业的快速发展,溅射靶材的应用领域将进一步拓宽,为行业发展提供更多机遇。同时,政策支持和行业标准的不断完善也将为溅射靶材行业的健康发展提供有力保障。
《2023-2028年中国半导体靶材市场发展现状调查及供需格局分析预测报告》由中研普华产业研究院撰写,本报告对该行业的供需状况、发展现状、行业发展变化等进行了分析,重点分析了行业的发展现状、如何面对行业的发展挑战、行业的发展建议、行业竞争力,以及行业的投资分析和趋势预测等等。报告还综合了行业的整体发展动态,对行业在产品方面提供了参考建议和具体解决办法。






















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