2023干式真空泵行业市场空间及现状分析

• 吴澳燕 2023年11月9日 来源：中研网 互联网 461 24
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干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装、测试等清洁或严苛制程。从市场空间来看，2022年全球半导体用干式真空泵市场将达196.4亿元，同比增长9.3%。

泵广泛应用于工业、农业及生活领域的通用机械，泵行业不仅受相关法律法规的保护和规范，同时受相关产业政策的引导和支持。

干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装、测试等清洁或严苛制程。从市场空间来看，2022年全球半导体用干式真空泵市场将达196.4亿元，同比增长9.3%。

电子信息时代，半导体销售额与全球经济增长关系愈发密切， 在经济发展中起到重要作用。 从 2015 年至 2022 年，全球半导体销售规模从 3,352 亿美元增长至 5,735 亿美元，年复合增速为 7.97%，高于同期全球 GDP 增速。

IDC预测，全球半导体产业市场规模在2023年将同比降低13.1%至5188亿美元，2024年回归成长轨道，将同比增长20.7%，回升至6259亿美元。长期而言，半导体产业将由车用、数据中心、工业及AI四大新科技应用驱动成长，到2032年全球半导体产业产值将达到1万亿美元。

根据中研普华产业研究院发布的《2023-2028年中国干式真空泵行业深度调研与发展趋势预测研究报告》显示：

干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

目前真空泵已经广泛应用在半导体制造的多个工艺环节中， 包括刻蚀、 镀膜、 扩散等等。为了将制造过程控制在更小的尺寸上，越来越需要以更高的精度和均匀性执行更多的半导体制造过程步骤。为了实现这一点，半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。

2023干式真空泵行业市场空间及现状分析

截至目前，发达国家的半导体相关产业已全部使用干式真空泵，我国近年来也呈现明显的干式真空泵替代油泵的趋势，国内的高端半导体行业已基本使用干式真空泵。

除半导体产业以外，制药、化工、食品行业对真空泵的需求较大，以往使用油封式机械泵会产生油污染。近年来国家对环境保护高度重视，由于干式真空泵能够显著减少油污染，且使用干式真空泵可实现溶媒回收提高利用率，因此制药、化工、食品等行业对干式真空泵产生了大量新增以及替代原有存量油封式机械泵的需求。

干式真空泵行业是一个技术密集型和资本密集型的行业，具有较高的市场准入门槛和技术壁垒。真空泵产品的质量、性能、稳定性、可靠性和耐用性等方面对客户的满意度和忠诚度有着重要影响。因此，干式真空泵行业的竞争主要体现在技术创新、产品差异化、服务质量和品牌影响力等方面。

全球干式真空泵主要厂商有Atlas Copco、Ebara、Pfeiffer Vacuum、Flowserve、Agilent等，全球前五大厂商共占有大约70%的市场份额。欧洲是全球最大的干式真空泵市场，占有大约40%的市场份额，之后是北美和日本市场，二者共占有大约20%的份额。

中国是全球最大的真空泵消费国之一，也是全球最大的真空泵生产国之一。随着中国经济的快速发展和工业化进程的加速，中国对真空技术的需求不断增加，尤其是在半导体、新能源汽车等新兴领域。为了满足市场需求，中国真空泵企业加大了技术研发和创新投入，提高了产品质量和性能，扩大了产品种类和规格，提升了服务水平和品牌形象。

随着全球经济的复苏和各行业对真空技术的需求增长，真空泵市场的竞争也日趋激烈。一方面，国际品牌之间的竞争加剧，为了保持或扩大市场份额，国际品牌不断推出新产品、新技术、新服务，以满足客户的不断变化的需求。另一方面，中国品牌与国际品牌的竞争加剧，为了打破国际品牌的技术壁垒和市场垄断，中国品牌不断提升自身的技术水平和产品质量，以及开拓国内外市场。此外，市场上还存在着一些中小型企业和新进入者，他们通过低价策略或者针对细分市场或者特殊需求来争夺市场份额。

随着功能和电路尺寸的减小，半导体制造中的工艺步骤数量将继续增加，从而导致真空设备需求的增加。此外，小型化还需要新的制造技术，如多模和EUV光刻技术，这将进一步推动半导体制造商采用真空系统。全球半导体市场的稳步增长，将推动干式真空泵在半导体领域的应用市场空间不断增长。

本报告利用中研普华长期对干式真空泵行业市场跟踪搜集的一手市场数据，应用先进的科学分析模型，全面而准确地为您从行业的整体高度来架构分析体系。报告结合干式真空泵行业的背景，深入而客观地剖析了中国干式真空泵行业的发展现状、发展规模和竞争格局;分析了行业当前的市场环境与行业竞争格局、产品的市场需求特征、行业领先企业的经营情况、行业未来的发展趋势与前景;同时，佐之以全行业近5年来全面详实的一手连续性市场数据，让您全面、准确地把握整个行业的市场走向和发展趋势。

更多行业详情请点击中研普华产业研究院发布的《2023-2028年中国干式真空泵行业深度调研与发展趋势预测研究报告》。

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