腾讯公布可穿戴触觉皮肤专利 电子皮肤或受益人形机器人推广 MEMS传感器行业发展现状调研分析

• 李波 2023年12月21日 来源：中研普华集团、央视财经、中研网 226 6
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天眼查App显示，腾讯公司、香港城市大学申请的“一种触觉执行器及可穿戴触觉皮肤”专利19日公布。该专利以线圈的柔性化设计实现触觉执行器的柔性化设计，柔性结构的触觉执行器既实现触觉反馈能力，也能实现触觉传感能力，一定程度上丰富触觉执行器的应用场景，同时提升

天眼查App显示，腾讯公司、香港城市大学申请的“一种触觉执行器及可穿戴触觉皮肤”专利19日公布。该专利以线圈的柔性化设计实现触觉执行器的柔性化设计，柔性结构的触觉执行器既实现触觉反馈能力，也能实现触觉传感能力，一定程度上丰富触觉执行器的应用场景，同时提升触觉执行器的感知准确率以及反馈灵敏度。

电子皮肤是一种新型可穿戴仿生触觉传感器，能感受多种外界刺激，如温度、压力等，能被广泛应用于机器人、可穿戴设备和医疗领域。以机器人为例，理论上电子皮肤可用于机器人各关节处，比如手指、手臂、腿部、头部，目前以压力感知为主要功能，未来或可与温度、气味传感合并功能。

中证报表示，电子皮肤对力矩传感器并非替代关系，二者功能不同可以互补。单台人形机器人最多可用1-2平方米电子皮肤，而目前电子皮肤月产量仅为5000-6000平方米，因消费电子对成本敏感所以很难打开市场，未来人形机器人的推广将显著提升电子皮肤市场空间。

公司方面，据中证报表示，汉威科技：公司研发的柔性微纳传感器或者叫柔性仿生电子皮肤，是基于纳米智能材料和仿生感知能力的柔性感知器件。

申昊科技：公司电子皮肤传感器仅小批量试用。埃夫特：2023年上半年公司牵头承担的国家重点研发计划“工业机器人核心零部件技术与应用示范”、“机器人视觉感知与电子皮肤安全控制技术研究”顺利通过课题验收。

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

微机电系统是将微电子技术与精密机械技术结合发展出来的工程技术，尺寸在1微米到100微米量级，涵盖机械(移动、旋转)、光学、电子(开关、计算)、热学、生物等功能结构，主要分为传感器、致动器、三维结构器件等三大类。与MEMS类似，NEMS是专注纳米尺度领域的微纳系统技术，只不过尺寸更小。

MEMS传感器行业产业链上游为原材料及芯片设计等环节，其中原材料主要包括半导体材料、陶瓷材料、金属材料和有机材料四大类;中游为MEMS传感器的制造环节，一般由芯片设计企业完成设计后交由第三方晶圆厂制造，此外MEMS行业还存在博世、意法半导体等大型IDM厂商。MEMS传感器下游广泛应用于消费电子、汽车电子、工业、医疗等领域。

在MEMS Drive出现之前，手机摄像头主要由音圈马达移动镜头组的方式实现防抖(简称镜头防抖技术)，受到很大的局限。而另一个在市场上较高端的防抖技术：多轴防抖，则是利用移动图像传感器(Image Sensor)补偿抖动，但由于这个技术体积庞大、耗电量超出手机载荷，一直无法在手机上应用。

MEMS传感器行业发展现状调研分析

近年来，在国产化政策支持、半导体产业资本支持力度不断加大以及我国晶圆产能持续扩张等因素的带动下，我国半导体材料市场规模加速扩张，到2021年我国半导体材料市场规模达119.3亿美元，同比增长22.2%。

MEMS产品主要分为MEMS传感器和MEMS执行器。从MEMS市场结构分布情况来看，2020年全球MEMS市场占比前三的细分领域分别为MEMS射频器件、压力传感器和惯性组合传感器，占比分别为17.01%、14.68%和12.48%。

截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。

与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

从市场结构情况来看，2020年系统集成应用占中国MEMS市场规模的51%，与2019年持平;设备和材料占中国MEMS市场规模的8%，较2019年减少了1%;封测占中国MEMS市场规模的12%，较2019年增长了1%;IDM占中国MEMS市场规模的2%，与2019年持平;制造及设计占中国MEMS市场规模的27%，与2019年持平。

根据中研普华产业研究院发布的《2024-2029年中国MEMS传感器行业深度调研及投资机会分析报告》显示：

在政策支持、市场拉动及资本推动等因素合力下，中国半导体行业不断发展，步入21世纪以来，我国半导体产业市场规模得到快速增长，随着我国半导体规模的迅速扩张，MEMS传感器行业也将迎来广阔发展空间。数据显示，2021年我国半导体行业市场规模达1925亿美元，同比增长27.1%。

随着我国MEMS产业的不断发展，研发力度的不断加大，行业相关技术也逐渐成熟，相关专利数量逐渐增多。数据显示，2021年我国MEMS相关专利申请数量为3354件，虽然较上年有所下降，但整体仍处于较高水平。

5G、物联网、人工智能、虚拟现实等技术与消费电子产品的融合，促进了消费电子产品的更新换代，进一步促进了我国消费电子行业的发展。2021年我国消费电子行业市场规模达18113亿元，同比增长4.4%。

MEMS新产品不断涌现、新功能不断开发、新应用场景不断拓展，MEMS行业迎来良好的发展机遇。2020年全球MEMS行业市场规模为120.48亿美元。

MEMS传感器行业未来发展前景广阔

MEMS传感器即微机电系统，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

MEMS传感器目前已经广泛运用于消费电子、汽车、工业、医疗、通信等各个领域，随着人工智能和物联网技术的发展，MEMS传感器的应用场景将更加多元。

MEMS传感器是人工智能重要的底层硬件之一，传感器收集的数据越丰富和精准，人工智能的功能才会越完善。物联网生态系统的核心是传感、连接和计算，随着联网节点的不断增长，对智能传感器数量和智能化程度的要求也不断提升。未来，智能家居、工业互联网、车联网、智能城市等新产业领域都将为MEMS传感器行业带来更广阔的市场空间。

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