2023中国掩膜版行业发展趋势分析

• 黄文玉 2023年6月12日 来源：互联网 全球半导体产业协会 615 35
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掩膜版行业发展如何?掩膜版，又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，是下游行业产品制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具，是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。

掩膜版行业发展如何?掩膜版，又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，是下游行业产品制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具，是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。简单地说，光掩膜基版在被刻蚀上掩膜图形之后就成为光掩膜版。

掩膜版上游主要包括图形设计、光掩膜设备及材料行业，主要供应厂商包括日本东曹、日本信越化学、日本尼康和菲利华等;中游为掩膜版制造行业，主要企业有日本HOYA，日本DNP，韩国LG-IT、日本SKE和清溢光电等;下游主要包括IC制造、IC封装、平面显示和印制线路板等行业，广泛应用于消费电子、家电、汽车等电子产品领域，主要客户为半导体厂商英特尔、三星、台积电等以及显示屏厂商京东方、华星光电等。

掩膜上承载着设计图形，光源投过掩膜并将图形投影在光刻胶智商。因此掩膜性能直接决定了光刻工艺的质量。目前制程制程用较为常用的工艺为投影式光刻，掩膜不直接与晶圆表面接触。掩膜版产业的上游光刻机、掩膜基版等重要原料及设备等。光刻机作为最重要的生产设备，由于国外企业具有国际专利，处于垄断地位。其中光刻机产量最大的企业ASML，2021年出货EUV光刻机42台，销售额达到了63亿欧元。

掩膜版行业发展现状分析

在平板显示掩膜版领域，2016年至2019年全球平板显示掩膜版的市场规模671亿日元增至1010亿日元，年均复合增长率达14.58%。受新冠疫情影响,2020年下滑至903亿日元,同比减少10.57%。自2018年起中国大陆超越韩国成为全球第一大平板显示掩膜版市场，2020年中国大陆的平板显示掩膜版市场规模占比约为51%，预计未来占比将持续提升。

数据显示，2016年全球G10及以上世代掩膜版的销售额为51.75亿日元，占全球掩膜版销售额的比例为8%;2019年G10及以上世代掩膜版的销售收入为157.51亿日元，占全球掩膜版销售额的比例为16%。2016年至2019年，全球G10及以上世代掩膜版的销售额年均复合增长率达44.92%。受全球新冠疫情的影响，2020年全球G10及以上世代掩膜版的销售额有所下降。

我国掩膜版制造主要集中在少数企业和和部分科研院所。面板领域，国内能够配套TFT用光掩膜版的企业只有路维光电和清溢光电，主要针对G8.5以下光掩膜版;在半导体领域，少数企业如无锡华润、无锡中微等只能制造0.13μm以上stepper mask。对于HTM、GTM、PSM等光掩膜版全部依赖进口。

根据中研普华产业研究院发布的《2021-2025年中国掩膜版行业发展趋势及投资预测报告》显示：

2021年中国掩膜版技术专利申请数量为690项。国产掩膜版目前已突破多项关键核心技术，包括掩膜版制造和光阻涂布等部分技术，一举打破了国外厂商在上述产品和技术领域的长期垄断。

根据中国海关数据显示，2019年1-12月中国制作和修复掩膜版(mask)或投影掩膜版(reticle)的装置进口数量为77台，进口金额为19292.71万美元;2019年1-12月制作和修复掩膜版(mask)或投影掩膜版(reticle)的装置出口数量为985台，出口金额为21.96万美元。2015-2019年中国制作和修复掩膜版(mask)或投影掩膜版(reticle)的装置进口数量与进口金额均在2018年达到最高值，此后快速下滑;2015-2019年中国制作和修复掩膜版(mask)或投影掩膜版(reticle)的装置出口数量在2017年达到最高值，出口金额逐年下跌。

清溢光电于2019年11月20日在上交所挂牌上市;主要从事掩膜版的研发、设计、生产和销售业务，是国内成立最早、规模最大的掩膜版生产企业之一。数据显示，2020年清溢光电总资产为142506.63万元，相比2019年增长了9683.66万元，同比增长7.29%;净资产为117823.77万元，相比2019年增长了5494.63万元，同比增长4.89%。2020年清溢光电营业收入为48719.26万元，相比2019年增长了754.17万元，同比增长1.57%;营业成本为40859.55万元，相比2019年增长了544.06万元，同比增长1.35%。2020年清溢光电归属母公司净利润为7629.03万元，相比2019年增长了600.62万元，同比增长8.55%。每股收益为0.29元。

按产品分类来看，2020年清溢光电主营业务总收入为4.88亿元，主营业务总成本为3.38亿元，其中：石英掩膜版实现营业收入为3.87亿元，营业成本为2.77亿元;苏打掩膜版实现营业收入0.80亿元，营业成本为0.53亿元;其他产品实现营业收入为0.04亿元，营业成本为0.03亿元;其他(补充)实现营业收入为0.16亿元，营业成本为0.05亿元。

2020年8月，国务院发布《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》，集成电路产业和软件产业是信息产业的核心，是引领新一轮科技革命和产业变革的关键力量。为进一步优化集成电路产业和软件产业发展环境，深化产业国际合作，提升产业创新能力和发展质量，制定出台财税、投融资、研究开发、进出口、人才、知识产权、市场应用、国际合作等八个方面政策措施。

掩膜版行业未来发展趋势预测

2020年全球石英掩膜基版规模达到了97亿元，中国石英掩膜基版市场规模也达到了17亿元。且预计2025年，全球石英掩膜基版市场规模有望突破120亿元，中国市场规模也能达到27亿元。

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