刻蚀机行业分析：市场规模、竞争格局及行业发展趋势

• 吴澳燕 2023年7月12日 来源：互联网 1415 93
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刻蚀设备是重要性仅次于光刻机的半导体设备。总额达到875亿美元规模的晶圆制造设备市场中，光刻，刻蚀，薄膜沉积分别占24%，20%，20%。而随着NAND闪存进入3D、4D时代，要求刻蚀技术实现更高的深宽比，刻蚀设备的投资占比显著提升，从20%提高至50%。

刻蚀设备是重要性仅次于光刻机的半导体设备。总额达到875亿美元规模的晶圆制造设备市场中，光刻，刻蚀，薄膜沉积分别占24%，20%，20%。而随着NAND闪存进入3D、4D时代，要求刻蚀技术实现更高的深宽比，刻蚀设备的投资占比显著提升，从20%提高至50%。

刻蚀机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器。按刻蚀材料不同，可分为介质刻蚀、导体刻蚀(包括硅刻蚀和金属刻蚀)。目前干法刻蚀在半导体刻蚀中占据绝对主流地位，市场占比超过90%。同时，等离子刻蚀是晶圆制造中使用的主要刻蚀方法，电容性等离子刻蚀(CCP)和电感性等离子刻蚀(ICP)是两种常用的等离子刻蚀方法。

刻蚀机产业链上游为四大组成部分，包括预真空室、刻蚀腔体、供气系统及真空系统;中游为刻蚀机的制造，分为湿法刻蚀及干法刻蚀两种;下游应用包括半导体器件、太阳能电池及其他微机械制造等。在刻蚀工艺中，最核心的设备就是刻蚀机。

刻蚀机的运行需要多种子系统，零件，和技术的互相配合。此外，刻蚀设备有多种复杂技术路线，硅、介质、金属刻蚀等不同工艺之间，技术原理和方法存在一定的差别。随着集成电路结构不断多层化，微缩化，刻蚀需要满足的工艺指标不断增多;设备研发需要大量的实验数据和经验积累，提高了行业的门槛。

根据中研普华产业研究院发布的《2021-2026年中国刻蚀机市场深度全景调研及投资前景分析报告》显示：

对于半导体设备行业，半导体设备指用于制造各类半导体产品所用的生产设备，在半导体制造的工艺流程中，半导体设备扮演着十分重要的角色，是半导体产业链上游环节市场空间最广阔，战略价值最重要的一环。

半导体设备主要应用于前道工艺设备(晶圆制造)和后道工艺设备(封装测试)两个大类，前道设备占据了整个市场的 80%-85%，其中光刻设备，刻蚀设备和薄膜沉积设备是价值量最大的三大环节，各自所占的市场规模均达到了前道设备总量的 20% 以上。

刻蚀设备作为半导体产线的核心装备之一，其结构复杂程度仅次于光刻。主流刻蚀设备可以分为主体和附属设备两大部分，主体包括EFEM(设备前端)、TM(传输模块)、PM(工艺模块)三大模块。工艺模块是刻蚀设备的核心模块，主要可分为反应腔系统，射频系统，静电卡盘与电极系统，真空压力系统，气路系统，终点检测系统等几个主要部分。

刻蚀机行业分析：市场规模、竞争格局及行业发展趋势

全球刻蚀设备市场规模2009年为24亿美元，2019年达115亿美元，复合年增长率近19%。受终端应用市场蓬勃发展、及半导体制造技术升级驱动，SEMI预测2025年全球刻蚀设备市场规模将增长至155亿美元，CAGR约为5%。

刻蚀设备行业集中度高，行业壁垒显著。全球刻蚀机市场长期被泛林半导体、东京电子、应用材料三大巨头占据。2020年泛林半导体、东京电子和应用材料合计占据90%以上的全球刻蚀机市场份额，日立高新和细美事紧随其后分别占3.45%和2.53%。国内厂商中，中微公司占比1.37%，北方华创占比0.89%，屹唐股份占比0.10%。

随着国际上高端量产芯片从14 纳米到10 纳米阶段向7 纳米、5 纳米甚至更小的方向发展，当前市场普遍使用的沉浸式光刻机受光波长的限制，关键尺寸无法满足要求，必须采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸，使得刻蚀技术及相关设备的重要性进一步提升。

近年来国家加大对于半导体产业政策的扶持力度，多项重磅文件相继出台，主要表现在对于整个IC产业链企业的政策优待以及对于半导体设备行业的相关规划与推动。使得我国半导体设备行业涌现出了一批拥有国际竞争力的龙头企业，有效促进了我国半导体设备行业的发展。、

国内刻蚀厂商依托资本和政策扶持一路奋起直追，成效显著。例如中微公司的介质刻蚀已经进入台积电7nm/5nm产线，是唯一一家进入台积电产线的国产刻蚀设备生产商。从晶圆厂招投标情况来看，国内晶圆厂新增产能建设不断加码，中微公司和北方华创等国内半导体刻蚀设备厂家份额进一步提升。随着国内刻蚀龙头紧跟先进制程发展，加大研发投入，积极并购与整合，整体国产刻蚀设备有望加速完成国产替代。

目前国内半导体零部件国产化率只有25%。刻蚀设备零件品类多，除金属加工零件外，其他部件较为依赖进口，构成供应链不稳定因素。缺货、断供风险等多重因素叠加，国内设备企业自主可控意识提升，对国产零部件需求旺盛，有望助力刻蚀设备零部件企业实现规模技术双重突破。

本报告利用中研普华长期对刻蚀机行业市场跟踪搜集的一手市场数据，应用先进的科学分析模型，全面而准确地为您从行业的整体高度来架构分析体系。报告结合刻蚀机行业的背景，深入而客观地剖析了中国刻蚀机行业的发展现状、发展规模和竞争格局;分析了行业当前的市场环境与行业竞争格局、产品的市场需求特征、行业领先企业的经营情况、行业未来的发展趋势与前景;同时，佐之以全行业近5年来全面详实的一手连续性市场数据，让您全面、准确地把握整个行业的市场走向和发展趋势。

更多行业详情请点击中研普华产业研究院发布的《2021-2026年中国刻蚀机市场深度全景调研及投资前景分析报告》。

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