国家政策不断利好 电子特气行业未来发展趋势及前景预测

• 黄文玉 2023年10月9日 来源：互联网 731 43
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由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。

一、特种气体的概念及产业链

电子特种气体(简称电子特气)，是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。在整个半导体行业的生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子特气，而且所用气体的品种多、质量要求高，所以电子气体又有半导体材料的“粮食”之称。

电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。

从电子特气产业链来看，上游原料是空气、空气废气以及基础化学原料，设备则包括气体设备、气体分离设备、气体纯化设备、压力容器等;下游则是主要应用领域，包括但不限于集成电路、显示面板、LED与光伏等泛半导体行业。

二、电子特气行业市场发展状况分析调研

国内的超高纯度净化技术主要依赖进口，自身的技术水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂，对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列，50多种电子特气进行末端净化，使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级，并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小，从而极大地改善工艺能力，降低产品缺陷， 提高制程的产量，满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术，解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。

特种气体占工业气体比重在20%左右。近几年来，随着我国工业气体行业的快速发展，特种气体的市场需求得到快速成长，市场规模实现持续高增速发展。2016年中国的特种气体市场规模为156亿元，到2020年已经达到282亿元。2016年-2020年期间，中国特种气体市场年平均增速达15%以上，增速明显。据第三方机构预计，接下来特种气体市场仍将保持15%以上高速增长趋势，预计2025年中国特种气体市场有望达到691亿元的规模。

我国正积极承接全球第三次半导体产业转移，2021年中国电子特气市场规模约为196亿元，未来随着先进制程及存储技术需求增加、显示市场持续增长、“碳中和”及“碳达峰”对光伏需求的增加，将显著拉动我国电子特气需求，也将进一步加速电子特气国产化进程。

根据中研普华产业研究院发布的《2023-2028年中国电子特气行业发展趋势及投资预测报告》显示：

与国外气体公司相比，大部分国内气体公司的供应产品较为单一，纯度级别不高，尤其在液晶面板、LED、光纤通信、光伏等高端领域，相关特种气体产品主要依赖进口。根据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的特种气体中，我国仅能生产约20%的品种，其余均依赖进口。我国国内企业所能批量生产的特种气体目前仍主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破。但最近几年，国内企业正在技术上奋起直追，在需求拉动下，市场占有率正不断提高。

近年来随着我国电子特气制造企业不断实现关键核心技术的创新突破，与国际先进水平差距进一步缩小，外资气体公司在我国的市场份额有所下滑。国内部分电子特气厂商如凯美特气、华特气体、金宏气体、派瑞气体、绿菱气体等公司迅速崛起，实现了部分电子特气产品的进口替代，国内企业占据我国电子特气行业的市场份额不断提升。

全球气体行业两极分化严重，前五大厂家占据了近80%的市场规模，而另外的近万家厂家只占据了不到20%的市场规模。目前，世界特种气体行业基本被美、德、法、日等国家的几大公司垄断，并有继续向发展中国家扩张的趋势。目前，在中国工业气体市场上，国际六大气体公司都已悉数进入中国，包括德国林德公司、法国液化空气公司、美国普莱克斯公司(Praxair)、美国空气化工产品公司(APCI)、日本大阳日酸公司(NipponSanso)和德国梅塞尔公司(Messer)。

三、电子特气行业未来发展趋势及前景

我国LED市场规模也保持增长走势，2021年全国LED市场规模达到9428亿元，增速9.3%，较2017年LED市场规模扩张了3070亿元。当前我国电子特气行业的主要下游产业均呈现出迅猛发展态势，随着下游集成电路、显示面板、LED、光伏、电子产品等新兴行业的产业规模不断壮大，我国电子特气行业也将迎来高速发展。

2022年7月国家工信部、科技部、自然资源部联合发布《“十四五”原材料工业发展规划》，要求围绕集成电路、信息通信、能源产业等重点应用领域，攻克特种涂层、光刻胶、工业气体、催化、光功能、储氢材料等一批关键材料。在国家政策不断利好电子特气行业发展的背景下，我国电子特气行业有着广阔光明的发展前景。

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