凯美特气光刻气或成ASML供应商 国内电子特气厂商遇良机

• 黄江 2023年2月6日 来源：新浪 641 37
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根据产业研究院的统计2020年中国电子特气应用市场结构，集成电路制造占比最高，约占总体电子特气市场的44%。显示面板领域占比约35%，太阳能电池领域占比约13%，LED及其他领域占比约8%。随着半导体行业的快速发展，电子特气的种类、数量仍在不断增加。

电子特种气体(简称电子特气)，是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。电子特种气体(即电子特气)又主要包括惰性气体，硅族气体，卤化物或卤化物气体，含硼、磷、砷等原子的气体，以及氟碳气体，种类繁多。在整个半导体行业的生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子特气，而且所用气体的品种多、质量要求高，所以电子气体又有半导体材料的“粮食”之称。

凯美特气光刻气或成ASML供应商

湖南凯美特气体股份有限公司 (以下简称 " 凯美特气 ")发布公告称，公司控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司(以下简称 " 岳阳凯美特 ")光刻气产品获得 ASML 子公司 Cymer 公司合格供应商认证。

根据公告，岳阳凯美特生产于 2 月 2 日收到 Cymer 公司发来的合格供应商认证函，岳阳凯美特生产的光刻气产品通过了 Cymer 公司审查，Cymer 公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。

资料显示，ASML 子公司 Cymer 是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外技术的行业领导者，是 ASML 集团内一家独立运营的企业。

Cymer 公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源，开发、制造和服务深紫外(DUV)光源。

产品组合包括使用氟化氩(ArF)或氟化氪(KrF)气体产生深紫外光的准分子激光器。

凯美特气表示，公司光刻气产品通过 Cymer 公司的合格供应商认证，是 Cymer 公司对公司在光刻气生产领域的生产能力、产品质量的认可，也是公司先进的产品生产技术、钢瓶内壁处理技术、气体分析技术等各方面综合实力、竞争优势的体现。

国内电子特气厂商遇良机

电子特气在集成电路、显示面板、化合物半导体器件等电子工业生产中是不可或缺的原材料。根据产业研究院的统计2020年中国电子特气应用市场结构，集成电路制造占比最高，约占总体电子特气市场的44%。显示面板领域占比约35%，太阳能电池领域占比约13%，LED及其他领域占比约8%。随着半导体行业的快速发展，电子特气的种类、数量仍在不断增加。

电子气体广泛应用于半导体制程工艺，电子大宗气体通常用于气体稀释、腔体清洁、腔体排气等环节。不同类型的电子特气根据不同的物理化学性质应用于不同的工艺环节，包括沉积、光刻、刻蚀、扩散、退火等关键工序。可以说，电子气体几乎用于集成电路制造的每一个环节，是集成电路制造的血液。

电子气体的生产过程包括分析检测、合成、提纯、充装、混合配比等多个工艺流程。为了满足下游半导体制造的纯度和杂质含量要求，提纯工艺非常重要，根据上游合成气或原料气组成，进行低温精馏或多级纯化。

在气体制备过程中，需要同时满足高洁净度、高密封性、高稳定可靠性的要求。洁净度方面，上游合成制备属于化工生产过程，无特殊洁净度要求，气体经过提纯后，进行气体冲入和混合制备需要满足下游集成电路制造工艺的标准规范。密封性方面，由于具有化学活性，电子气体，尤其是电子特气在生产过程中对系统材料与半导体制造要求保持一致，防止引入杂质或气体腐蚀引起泄漏、污染等危害。稳定可靠性方面，电子特气的品质指标包括纯度、杂质颗粒含量等，指标的任何变化都会影响下游半导体制造的结果。因此，为保证电子特气产品的一致性，对气体制备工艺系统的控制指标稳定性要求也非常重要。

在气体经过化学反应或经过物理提纯后，充装至钢瓶、储罐等容器后销售给下游客户。

根据中研普华研究院《2023-2028年中国电子特气行业发展趋势及投资预测报告》显示：

从产业链来看，工业气体行业的原材料是空气、工业废气、基础化学原料等，其上游是气体分离及纯化设备制造业、基础化学原料行业、压力容器设备制造业等。下游领域包括冶金、化工、机械制造等传统行业，以及半导体、显示面板、LED、光伏、医疗健康、光纤光缆等新兴行业。

电子气体是现代工业之基石，被誉为晶圆制造之 " 血液 "，下游广泛应用于集成电路、面板、医疗、光纤等新兴行业和冶金、化工等传统行业。

电子特气在半导体晶圆制造应用中占比约 70%，其次是面板显示市场占比约 20%。

除此之外，电子特气还广泛应用于 LED、太阳能电池、医疗健康等领域。

在集成电路等高端领域，电子气体被液化空气集团、林德集团、大阳日酸、日本昭和电工等国外气体公司垄断，国内厂商市场份额较小。

然而，近年来，随着全球晶圆厂的加速扩建以及产能的逐步释放，下游市场对电子特种气体的需求广阔。

另外，随着中国半导体制造的崛起，也加速推动了半导体材料的国产化进程。

有数据显示，2017-2021 年，中国特种气体市场规模从 175 亿元增至 342 亿元，年复合增速达 18%，预计到 2026 年中国特种气体行业的市场规模将达到 808 亿元，2021-2026 年复合增长率为 18.76%。

据悉，凯美特气并否国内首家获得 ASML 认证的电子特气厂商，在此之前，国内另一家电子特气上市公司华特气体自主研发的 Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/Ne4 种混合气已于 2017 年得到 ASML 的认证。

此外，国内上市公司杭氧股份、金宏气体、 南大光电等也均在逐鹿高端电子特气领域。

《2023-2028年中国电子特气行业发展趋势及投资预测报告》由中研普华研究院撰写，本报告对该行业的供需状况、发展现状、行业发展变化等进行了分析，重点分析了行业的发展现状、如何面对行业的发展挑战、行业的发展建议、行业竞争力，以及行业的投资分析和趋势预测等等。报告还综合了行业的整体发展动态，对行业在产品方面提供了参考建议和具体解决办法。

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