2023中国电子特气行业发展趋势分析报告

• 黄文玉 2023年3月14日 来源：互联网 793 48
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电子特种气体(简称电子特气)，是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。

一、电子特气的概念

电子特种气体(简称电子特气)，是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。在整个半导体行业的生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子特气，而且所用气体的品种多、质量要求高，所以电子气体又有半导体材料的“粮食”之称。

电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。

根据中研普华产业研究院发布的《2023-2028年中国电子特气行业发展趋势及投资预测报告》显示：

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子特气上游多为III(硼、铝、镓)、IV(碳、硅、锗)、V(氮、磷、砷)族元素及卤族元素(氟、氯)的基础化工产业，下游在集成电路、面板、LED等领域的各个工艺环节均有多种用途。

电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显示器件、光导纤维生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。电子特种气体的发展直接带动高新技术产业发展。

2021年全球电子特气市场规模达46亿美元，预计未来行业将保持在5%左右的增速，市场规模在2024年达到54亿美元。近年来全球电子特气市场保持平稳增长。

二、电子特气市场发展现状

近几年来，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。目前我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯氯化氢已成功打开国内市场。

2021年，电子特气在集成电路中的应用占比达43%，其次为显示面板，占比21%，LED和光伏分别占比13%，6%，主要应用环节包括离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等。目前国内电子特气第一梯队的厂商已经具备规模生产能力，在细分领域产品具有一定优势，但和国外龙头企业相比还有较大差距，国产替代空间巨大。

电子特种气体的研究开发和生产的专业化，有利于技术的改进和提高，有利于成本的降低，是提高电子元器件质量的重要环节。实现真正意义上的规模化生产，增加国内和国际市场份额，为国家进行产业调整结构，建立完整的集成电路、光电子产业链，提高国际竞争力，具有重大意义。

国内的超高纯度净化技术主要依赖进口，自身的技术水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂，对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列，50多种电子特气进行末端净化，使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级，并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小，从而极大地改善工艺能力，降低产品缺陷， 提高制程的产量，满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术，解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。

三、电子特气行业未来趋势预测

集成电路是电子特气主要下游应用，21年占比达43%。半导体产业是我国国民经济的基础性和战略性产业，政策加持下，打造“中国芯”、实现进口替代的紧迫性、重要性不断加强。中国电子特气2021年市场规模为167亿元，预计2024年我国电子特气市场规模将达到230亿元，2020-2024年复合增速将达11.28%，增速高于全球。

电子特气得到国家政策大力支持。“十四五”期间，中国工业气体、集成电路产能分布密集的东部地区基于自身区域产业发展提出相应的电子特气行业发展规划，其中如广东、辽宁等地基于优势城市、区域产业群加大技术投入，拓展包括电子特气在内的工业气体版图;江苏、浙江等集成电路产能密集省份则基于区域相关产业发展方向，有针对性地发展相应电子特气产业，提升集成电路产业化程度。可以预见的是未来国产电子特气市场未来将有较大增长空间。

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